8 2 烷类尾气处理系统8,2,1、尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定 1,设备的处理效率不应低于99、2。处理后的污染因子浓度宜在PC。TWA值以下 3。处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25，以下、8 2.2。采用电热式和等离子式的尾气处理设备 其内部应采用耐腐蚀,耐高温的材料。8 2,3，尾气处理系统宜采用下列方式,1、硅烷.SiH4、锗烷,GeH4，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式。2 磷烷,PH3，宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式 3 乙硼烷，B2H6,宜采用洗涤方式，4 砷烷.AsH3、宜采用干式吸附方式.8,2 4、从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道,应符合下列规定，1.管道的材质宜采用不锈钢304或316，2、当尾气遇低温易产生沉淀物质时.管道应采取加热措施 8,2、5。尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀 导静电的材质.8 2，6。当尾气处理设备采用直接燃烧方式时。应符合消防要求