8,3.全氟化合物、PFC 尾气处理系统8.3、1。对化学气相沉积，CVD,干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物.PFC，排入大气前应进行处理。8 3,2。尾气处理设备的效率应符合下列规定.1,三氟化氮.NF3 不应低于98、2，其他不应低于95.8.3、3、全氟化合物 PFC,尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式.裂解方式应根据处理效率、处理生成物.系统可靠性。处理能力,运行成本,使用寿命，消防要求因素等综合比较确定。8.3，4，尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料。8，3,5 尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统。