8、4，其他特种尾气处理系统8,4，1，尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定、1、设备的处理效率不应低于99,2.处理后的污染因子浓度宜在PC、TWA值以下，3.处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25 以下 8。4,2，外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定 1,外延尾气处理系统应单独设置。2 应按防爆系统设置。3,不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内。4，尾气处理设备应设置防护罩、8。4，3 三氟化硼。BF3.和三氯化硼 BCl3，宜采用等离子和淋洗两级处理方式 三氟化氯，ClF3 宜采用热氧化和淋洗两级处理方式。三氯硅烷。SiHCl3 二氯硅烷 SiH2Cl2。宜采用等离子式和淋洗两级处理方式,8。4。4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定,1.管道的材质宜采用不锈钢304或316、2、当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时,管道应采取加热措施，8.4、5.尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐.导静电的材质。