4、2.污染物控制4 2,1、生产工艺采用先进的技术和装备。可以减少有毒有害物质的产生量、例如、在半导体工艺中通过改进生产工艺 降低光刻次数，降低化学品的消耗，从而降低挥发性有毒有害废气的排放量，在平板显示器件制程的涂胶工序中,可以采用非甩胶的工艺设备代替甩胶工艺设备,降低光刻胶的使用量。从而降低挥发性有机物的排放量、4 2、2,根据走访调研,一些高污染的典型电子工业下艺设备废气排放压力设定见表3、表6，