6、2 氮氧化物,高浓度酸及电镀废气6 2，1，集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx、除进行酸碱中和反应外。还需进行氧化、还原反应去除NOx，采用多级处理方法。在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体、需要采取措施去除新污染源,6，2,2 酸液喷淋清洗型设备，加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气 普通酸处理设备处理效率低、无法满足处理要求。需进行特殊处理.1，在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU，采用喷淋碱液的方法，就地去除高浓度酸废气、2、高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统 洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数,采用多级处理方式，