8。特种废气系统8。1。一般规定8，1 1，本条规定了特种废气处理系统的设置要求,1。特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式.热氧化式,淋洗式.等离子式等，3，尾气处理设备的入口 设备腔体内，管路以及等离子头等需要定期清理。短则2个月,3个月,长则3个月,6个月 为了确保稳定生产,特种尾气设备一般考虑备用。8，1、2、本条规定了管道连接的要求 1。不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时,一般采用图4.图7接法。工艺设备不同腔体使用不相容气体时.要采用图5接法。不要采用图4，图7接法,2 工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口,要一一对应图4.图5接法。图6合并使用的接法,在接头处易造成堵塞,故一般不采用、8,1。3。为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚。要减少管路中的弯头和变径,当处理气体有含有自燃气体,如硅烷、可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸.要减少管路上的接头。8、1、5.在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测.8,1、7，从安全角度考虑、制定了本条规定,8,1 8、采用淋洗式尾气处理设备时，由于其排出的气体中含有水蒸气.故制定了本条规定，