8。特种废气系统8 1，一般规定8.1，1,本条规定了特种废气处理系统的设置要求。1，特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式。热氧化式。淋洗式。等离子式等,3 尾气处理设备的入口 设备腔体内，管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月、3个月 长则3个月。6个月、为了确保稳定生产 特种尾气设备一般考虑备用。8 1,2 本条规定了管道连接的要求.1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时.一般采用图4 图7接法.工艺设备不同腔体使用不相容气体时,要采用图5接法，不要采用图4。图7接法、2,工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口,要一一对应图4.图5接法、图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞。故一般不采用.8、1.3。为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚.要减少管路中的弯头和变径，当处理气体有含有自燃气体，如硅烷，可燃气体时、为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸.要减少管路上的接头,8.1。5.在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测 8,1 7，从安全角度考虑.制定了本条规定、8,1.8.采用淋洗式尾气处理设备时、由于其排出的气体中含有水蒸气。故制定了本条规定、