8,2 烷类尾气处理系统8、2.1,PC TWA值见、工作场所有害因素职业接触限值,第1部分,化学有害因素、GBZ，2，1、8.2.3，本条规定了几种尾气的处理方式、1、因为硅烷易与空气发生反应、产生二氧化硅,极易堵塞管道.故需要进行就地洗涤,而采用离子式的方式易堵塞火炬头,故不推荐。2 对于废气量大的设备宜采用。热氧化，洗涤。的方式,如 CVD 量小的一般采用吸附式的方式,如离子注入机,特气站均采用吸附式.3，由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高 故推荐此方式.