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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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8。3。全氟化合物、PFC，尾气处理系统8,3、2，由于中央废气处理设备对全氟化合物的效率几乎为、0。所以规定了特种尾气设备的效率 8、3 3，热裂解包括等离子式和热氧化式、8,3 4 由于全氟化物经POU处理 气体分解后会产生强腐蚀性的高浓度的氟酸气体 故规定其处理设备的塔体及管道采用耐腐蚀的材料，
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