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- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 5 碱性废气系统
- 6 酸性废气系统
- 7 挥发性有机物废气系统
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 11 事故通风
- 12 电气设计
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8，5、中央废气处理系统8.5,1、尾气处理设备处理后还含有污染物,故需要进入中央废气处理系统进一步处理.对于外延工序 由于含有氢气 其尾气处理设备处理后的气体不要接入中央废气处理系统，8，5,3,为了避免有害物质外泄制定了本条规定、8、5,4.本条规定了产生粉尘的尾气处理设备的系统设置要求。2.为了避免粉尘堵塞管路系统制定了本款规定、3.采用淋洗方式、粉尘含有水分，会堵塞干式的过滤器,
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