9。5。静电防护及接地9,5.1,洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。9、5,2,洁净室。区 内的防静电地面,其性能应符合下列规定，1,地面的面层应具有导电性能 并应保持长时间性能稳定、2，地面的面层应采用静电耗散性的材料.其表面电阻率应为1 0 105Ω 1.0,1012Ω。或体积电阻率为1.0,104Ω.cm.1.0。1011Ω cm，3,地面应设有导电泄放措施和接地构造 其对地泄放电阻值应为1 0。105Ω，1 0 109Ω 9 5,3,洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施.9,5 4。洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体。气体或粉体管道应采取防静电接地措施、其中有爆炸和火灾危险场所的设备。管道应符合现行国家标准,爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范.GB.50058的有关规定 9.5。5 防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子,在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环,在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0、1Ω,9.5 6，洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接 直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。9、5，7，接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω、选择分散接地方式时 各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体 两者应保持20m以上的间距 洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准.建筑物防雷设计规范.GB,50057的有关规定.