、5 2、纯水回收.5 2、1、纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况,回收水质.水量.结合当前的技术,经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求，1.应用于集成电路生产的超纯水系统 其纯水回收率不宜低于75。2，应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统,其背面减薄废水和划片废水应予回收利用,3、应用于TFT，LCD生产线的超纯水系统 其纯水回收率不宜低于50 5.2，2、经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率。pH值和TOC,当检测值符合回用要求时、应予以回用.不符合回用要求时 应将其排放至废水处理系统 5 2,3,回收水处理系统流程的拟定和设备的选择.应根据工程的 具体情况。回收水水质 水量以及处理后的用途等因素综合确定.当不能取得回收水水质资料时。可按已建同类工程经验或经科学实验后确定、