3.3 化学品供应管道系统3，3，1 电子工厂的化学品属于危险性物质，管道架空敷设有利于管道的运行管理 可及时发现问题并便于维修。3、3 2。化学品供应管道设计流向一般应从下往上 这主要是为了消除系统中的气泡，利于介质的流动、3,3，3。为防止管路中的下述部位发生泄漏、规定酸碱类，研磨液 腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点 任何存在转接头。三通,大小头 焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。3。3 4 由于研磨液化学品的黏度较大 输送较为困难，规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离 并尽量减少弯头数量.3。3,5,非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质 同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求、规定该类化学品采用不锈钢管道，3、3、7,条文中关于管道与阀门，设备连接时，应采用阀门、设备相同的连结方式是指阀门。设备配置的如法兰，双卡套.扩口，入珠、焊接等连接方式