4，精密仪器和设备4、1 精密加工与检测设备4。1。1，精密加工设备在时域范围内的容许振动值,宜按表4、1,1的规定确定，4 1。2 电子工厂，纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1 3倍频程的容许振动值,宜按表4。1,2的规定确定.注 当频率重叠时。应同时满足两个频率区间上的容许振动要求、4。1、3，三坐标测量机在频域范围内的容许振动值.宜按表4。1,3的规定确定 注。1,本表适用于测量范围在500mm.2000mm的三坐标测量机，2。ε为测量精度，L为三坐标测量机的最大量程、3,表中30Hz 50Hz之间数值可采用线性插值计算，