4、精密仪器和设备4 1 精密加工与检测设备4.1,1,精密加工设备在时域范围内的容许振动值,宜按表4,1。1的规定确定.4 1,2.电子工厂,纳米实验室及物理实验室用精密仪器和设备在频域范围内1。3倍频程的容许振动值,宜按表4 1、2的规定确定。注 当频率重叠时.应同时满足两个频率区间上的容许振动要求,4 1,3.三坐标测量机在频域范围内的容许振动值.宜按表4、1,3的规定确定、注、1,本表适用于测量范围在500mm、2000mm的三坐标测量机,2 ε为测量精度.L为三坐标测量机的最大量程。3。表中30Hz,50Hz之间数值可采用线性插值计算,

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