4.精密仪器和设备4、1 精密加工与检测设备4,1。1、本条给出了部分以时域示值的精密加工设备的容许振动值,并明确是以时域的峰值表示、4.1,2 本标准规定的容许振动值有如下特点、1,由于精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统,自身具有多个固有振动频率及阻尼比 当外界振动频率与某个固有振动频率一致时。系统产生共振 会影响其正常工作。而对于外界环境振动。经大量实例及研究结果证明、是一种平稳随机振动过程、本身含有丰富的简谐振动频率，为了确保仪器及设备的正常工作、对外界环境中存在各种不同频率的振动幅值进行限制 以减弱因共振等产生振动影响的做法是较为科学的 因此，本条规定的容许振动值均采用频域表达.2,频域采用1、3倍频程中心频率的幅值表示，这是因为对于随机振动频谱、采用1，3倍频程带宽的能量来描述随机振动幅值大小是合适的,同时，设备制造提供的容许振动值也基本采用1 3倍频程的中心频率值表示，3.由于随机振动能量分布在较宽的频率范围内,用峰值描述难以反映随机振动的特性,采用均方根值有利于数据的检验及比对，因此本条规定的容许振动值采用频域均方根值,4.由于普通的精密仪器与设备对于4Hz以下频段的振动不敏感、因此不考虑其振动影响 对于4Hz，8Hz,频段、则反映为对振动加速度敏感，因此采用振动加速度作为控制指标.但对于控制精度较高的集成电路 激光装置,纳米加工等。其研发，加工与试验用仪器及设备的自身即带有空气弹簧隔振装置 而它们的固有振动频率往往在1Hz。3Hz。为了降低这些频段的振动响应,将容许振动值的频段范围延至1Hz,也即提高了对低频段的振动限值要求,本条明确了电子工厂、纳米实验室及物理实验室用精密仪器与设备以频域的1。3倍频程均方根值作为容许振动标准的限值 且不同频段以不同的物理量示值,4。1。3.通常大中型三坐标测量机.特别是大型悬臂式测量机容易受到环境振动影响、由于设备与被测工件较大。测量机布置位置相对固定，需要安装在专门的地基基础上.对基础振动有一定要求 当测量机对测量精度有特殊要求时,需要根据设备的具体要求专门设计地基基础 或采取必要的减振和隔振措施.根据三坐标测量机厂家提供的测量机对环境振动的要求,以及对三坐标测量机测试结构系统的动力分析发现.三坐标测量机的一阶固有频率多在10Hz 30Hz范围内.在此区间的环境振动容易引起测试机构共振 影响测量精度、在通常情况下,只要确保8Hz.100Hz范围内的基础振动符合设备使用条件、就能保证测量精度不受振动影响。而多数三坐标测量机要求的频率范围是0.5Hz 100Hz。在这个频率区间内控制好环境振动。应该更能确保三坐标测量精度.这样的要求也更加保险，测量值应取平均幅值.测量的波峰因数应小于6 由于三坐标测量机的型式种类非常多，不同厂家不同机型的容许振动限值也不一样,根据数十台三坐标测量机的技术条件,在确保80.保证率的前提下.提出了三坐标基础的容许振动限值.对于少数有特殊要求的三坐标测量机 则需要根据具体设备的要求设计基础，位移限值主要用于低频振动控制,加速度限值用于高频振动控制。对于10Hz,30Hz范围的振动要求较严格一些。当频率大于100Hz时。振动控制相对容易一些,有些较低精度三坐标测量机的振动要求可以达到300mm.s2。考虑到本标准其他章节的限值条件,容许振动加速度值均控制在200mm、s2。300mm.s2。在实际应用中,可以根据具体测量机的要求对技术指标作适当调整。图2是三坐标测量机对环境振动的要求，图2。三坐标测量机的容许振动值