4,2,洁净室.区,环境监控设计4 2、1，根据工艺要求 应对洁净室、区。的空气参数进行监视.测量和记录，4、2,2.洁净室,区，的监控系统与净化空调的监控系统宜合用，或采用通信的方式进行数据共享.4、2.3，多个洁净室、区.采用一套监控系统时。应根据最严格的洁净室,区、的温度和湿度要求选择控制系统的精度.4,2，4。洁净室,区 内外的压差检测.宜采用压差变送器监测,4,2,5，洁净室。区、安装有过滤器时.宜具有过滤器压差报警功能，4 2，6。传感器宜对化学物质沉积采取防护措施或具备自洁功能,