4.2.洁净室、区,环境监控设计4、2 1。根据工艺要求,应对洁净室，区 的空气参数进行监视。测量和记录，4 2,2.洁净室,区,的监控系统与净化空调的监控系统宜合用 或采用通信的方式进行数据共享 4。2,3 多个洁净室，区、采用一套监控系统时 应根据最严格的洁净室，区 的温度和湿度要求选择控制系统的精度 4、2 4。洁净室、区.内外的压差检测.宜采用压差变送器监测.4 2。5,洁净室。区。安装有过滤器时.宜具有过滤器压差报警功能、4，2,6。传感器宜对化学物质沉积采取防护措施或具备自洁功能