4。2。洁净室。区 环境监控设计4,2，1。对温度。湿度，露点温度 压差，洁净度。空气成分等全部或部分空气参数进行监视,测量和记录.并及时报警、维持洁净环境，满足工艺生产的要求。对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境、悬浮分子污染物、Airborne。Molecular.Contaminants，AMC。的控制越来越重要。国际半导体设备与材料协会,Semiconductor Equipment。and、Materials，International、SEMI,的标准根据化学品的特性.将洁净室中的空气污染物分为酸.Molecular Acids MA.碱，Molecular。Bases.MB,可凝聚物,Molecular Condensables.MC,和掺杂物 Molecular,Dopants，MD.4、2、2。系统合用便于统一管理 保证数据传输的可靠 及时,如分开设置.需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠 及时,4,2、3。在同一栋生产厂房内。工艺段对洁净环境的温度，湿度、压力要求不同、但控制系统共用时 控制系统的选择应满足最严格的要求 4.2,6、个别生产工艺段有化学沉积现象。化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度,严重的会使传感器失去功能,因此,要采取适当的防护措施.