4，2。洁净室 区 环境监控设计4、2 1、对温度、湿度 露点温度。压差 洁净度 空气成分等全部或部分空气参数进行监视。测量和记录、并及时报警 维持洁净环境 满足工艺生产的要求.对于生产新型显示器件及半导体器件的洁净室环境 悬浮分子污染物 Airborne,Molecular。Contaminants、AMC，的控制越来越重要、国际半导体设备与材料协会,Semiconductor。Equipment、and,Materials International、SEMI 的标准根据化学品的特性。将洁净室中的空气污染物分为酸.Molecular。Acids，MA，碱，Molecular。Bases。MB。可凝聚物，Molecular,Condensables、MC,和掺杂物,Molecular，Dopants、MD、4 2，2，系统合用便于统一管理 保证数据传输的可靠.及时 如分开设置 需采取措施保证不同监控系统间数据通信的可靠.及时、4,2、3，在同一栋生产厂房内。工艺段对洁净环境的温度.湿度 压力要求不同。但控制系统共用时。控制系统的选择应满足最严格的要求、4，2,6，个别生产工艺段有化学沉积现象，化学物质沉积在敏感元件处时会影响测量精度.严重的会使传感器失去功能，因此.要采取适当的防护措施.