9 3.空气调节与净化9.3,1.印制电路板厂房内的空气洁净度。温度，湿度要求应满足生产工艺的要求,9 3 2,厂房内的车间或区域符合下列情况之一时。空气调节系统宜分开设置，1、对温度、湿度控制要求差别大的房间.2。净化空调系统与一般空调系统、3 容易产生交叉污染的区域或房间，4。工艺设备发热量相差悬殊的不同房间.9 3。3,厂房内洁净室，区,与周围环境应维持一定的压差。不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。洁净室,区。与室外的静压差不应小于10Pa。9.3.4 生产区空调、净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值.1，补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和、2。供给洁净室,区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3,供给非洁净室。区.内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3，9。3，5。空调系统的送风，回风和排风系统的启闭连锁.控制要求。应符合现行国家标准、电子工业洁净厂房设计规范,GB，50472的有关规定、9，3 6,满足空气洁净度等级的洁净室送风量。静态。和气流流型宜按表9.3.6计算 表9、3 6、洁净室送风量。静态、和气流流型、注.1，换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室。2。室内人员少，热源少时、宜采用下限值 9.3 7 单向流和混合流洁净室的噪声级、空态，不应大于65dB A，非单向流洁净室的噪声级 窄态.不应大于60dB.A。9。3，8、洁净室的送风方式可分为集中送风。风机过滤机组送风等.9 3，9.电镀,沉铜.棕化.表面处理、蚀刻 清洗、烤板等工序宜设置岗位送风系统，岗位送风系统宜经过过滤 冷却。加热等处理,送风温度宜保持在16.28、9 3 10.空气过滤器的选用，布置应符合下列要求。1。空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器.2,空气过滤器处理风量不应大于额定风量.3，中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段、4，亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。5,同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力.效率，使用风量与额定风量之比值应相近 9,3、11。风机过滤器机组的设置应符合下列要求、1 应根据空气洁净度等级和送风量选用、2。送风量应能调节 3。应便于安装 维修及过滤器更换,9 3,12。干冷却盘管的设置应符合下列要求 1,迎面风速不宜超过2、5m。s。2、空气侧阻力不应大于40Pa。3,布置在同一洁净室。区，内的干冷却盘管。在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10 4、冷冻水的供水温度应高于洁净室 区。内的露点温度，5 应设置排水系统,9,3 13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置，并应与风机连锁。9 3,14。空调系统采用电加热器时。电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风 超温断电保护装置，当采用电加湿器时，应设置无水,无风断电保护装置.寒冷地区。新风系统应设置防冻保护措施、