9。3,空气调节与净化9、3、1.印制电路板厂房内的空气洁净度。温度、湿度要求应满足生产工艺的要求,9、3,2.厂房内的车间或区域符合下列情况之一时 空气调节系统宜分开设置 1,对温度 湿度控制要求差别大的房间。2,净化空调系统与一般空调系统,3.容易产生交叉污染的区域或房间、4,工艺设备发热量相差悬殊的不同房间。9.3,3.厂房内洁净室 区,与周围环境应维持一定的压差、不同等级的洁净区之间的静压差不应小于5Pa 洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa.洁净室,区 与室外的静压差不应小于10Pa,9 3、4 生产区空调。净化房间的新鲜空气量应取下列两项中的最大值.1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和.2,供给洁净室。区,内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3 供给非洁净室.区、内每人每小时的新鲜空气量不小于30m3 9 3 5。空调系统的送风,回风和排风系统的启闭连锁,控制要求 应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范.GB 50472的有关规定,9、3,6.满足空气洁净度等级的洁净室送风量、静态,和气流流型宜按表9,3。6计算。表9、3 6 洁净室送风量,静态 和气流流型,注.1。换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室,2。室内人员少 热源少时、宜采用下限值,9 3,7,单向流和混合流洁净室的噪声级、空态.不应大于65dB,A、非单向流洁净室的噪声级,窄态.不应大于60dB。A、9.3.8,洁净室的送风方式可分为集中送风。风机过滤机组送风等、9。3、9,电镀.沉铜 棕化、表面处理 蚀刻.清洗 烤板等工序宜设置岗位送风系统。岗位送风系统宜经过过滤、冷却,加热等处理、送风温度宜保持在16。28,9,3.10。空气过滤器的选用。布置应符合下列要求.1。空气净化处理系统应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器,2、空气过滤器处理风量不应大于额定风量。3.中效和高中效空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段.4,亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端、5.同一净化空调系统中末端空气过滤器的阻力,效率.使用风量与额定风量之比值应相近。9,3。11,风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1、应根据空气洁净度等级和送风量选用。2,送风量应能调节,3,应便于安装 维修及过滤器更换、9,3,12.干冷却盘管的设置应符合下列要求。1,迎面风速不宜超过2、5m、s 2。空气侧阻力不应大于40Pa,3.布置在同一洁净室,区 内的干冷却盘管 在工作条件下空气侧阻力相差不应大于10 4,冷冻水的供水温度应高于洁净室,区,内的露点温度。5,应设置排水系统.9.3,13,净化空调系统的新风吸入管应设置密闭装置,并应与风机连锁,9 3。14,空调系统采用电加热器时、电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风.超温断电保护装置,当采用电加湿器时、应设置无水,无风断电保护装置、寒冷地区 新风系统应设置防冻保护措施。
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