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13。11 稀有气体真空泵13。11,1.稀有气体真空泵试运转前应符合下列要求。1.各润滑部位加注润滑剂的规格和数量应符合设计技术文件的规定,2、泵试运转前应盘车灵活、并应无阻滞,3,驱动机的转向应与泵的转向相符.4 各指示仪表,安全保护装置及电控装置均应灵敏.准确。可靠。检查数量、全数检查、检验方法、观察检查,13.11,2。稀有气体真空泵试运转应符合下列要求 1,稀有气体真空泵连续试运转时间不应少于30min。2。轴承的温度和温升应符合设计技术文件的规定,3、试运转中应无异常的声响和振动.各连接部位应严密无泄漏 4。检查泵的极限真空度.真空度应符合设计技术文件的规定 5 停泵前应关闭吸气口处阀门、并应使泵与真空系统隔绝。6。抽吸气体中含有较多的可凝性蒸汽时 应打开泵的气镇阀、检查数量,全数检查、检验方法.观察检查。用测温仪,计时器.真空计测量,

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