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11,3、管道安装。主控项目11、3,2、稀有系统冷箱内阀门公称直径很小,很容易堵塞.影响稀有系统的调试。整个系统的管道应有很高的清洁度,多次吹扫能清除杂质,保证系统清洁、一般项目11 3.7 稀有气体系统低温液体管道采用套管绝热.套管的连接方式有法兰连接 焊接连接两种方式、为了保证绝热效果.套管连接要求很好的密封

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