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11、2、氖氦提取设备11、2,5。氖氦系统采用冷凝吸附法除氮、装置是由吸附器、换热器 气液分离器。杜瓦容器,负压液氮储槽,组成的整体装置.11 2.6,真空泵是除氮装置的附属设备,负压液氮储槽需要抽真空,11.2 7.膜式压缩机使被压缩的气体不与任何润滑剂接触。可保证气体的高度纯洁,适于压缩少量不允许被润滑剂污染的气体、特别适用于珍贵且纯度高的稀有气体的压缩输送或装瓶.

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