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- 发光二极管工厂设计规范 GB 51209-2016
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 工 艺
- 4.1 一般规定
- 4.2 基本工序与生产协作
- 4.3 工艺区划
- 4.4 设备布置
- 5 总 图
- 6 建 筑
- 7 结 构
- 8 动力及气体工程
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 10 给水排水
- 11 电 气
- 12 防静电
- 13 空间管理
- 附录A 发光二极管典型生产环境要求
- 附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
- 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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4,4、设备布置4、4.1 振动敏感设备宜远离振动源布置,4。4 2 生产设备宜根据工艺流程集中布置。并考虑设备搬运、维修空间.4。4.3。金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集中布置 4，4.4。气瓶柜.尾气处理设备、气体纯化柜等金属有机化学气相沉积设备的辅助设备的布置方式 应符合现行国家标准，建筑设计防火规范。GB,50016和，特种气体系统工程技术规范 GB。50646的有关规定，
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