4。工 艺4.1，一般规定4。1,4,4，1，5,根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求，工艺动力品质.气体，水 要求的调研数据,通过汇总和比较 在附录A给出了主要工序生产环境要求举例.在附录B给出了工艺动力品质要求举例.在工艺设计时 业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时.可参照本规范附录A.附录B的要求确定.附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考 比如对于烤盘 吹盘间.属于设备维护用房间。可以放到非净化区内。但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑，将其放置在与MOCVD间相邻的房间内.因此对烤盘。吹盘间也采取了净化措施.与此类似的还有MOCVD辅助间，该房间用于放置尾气处理设备，气体纯化等辅助设备.这些设备本身不需要净化环境。只是从易于调试及使用方面考虑 多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内、也对该房间采取了净化措施、附录B给出了工艺动力品质。气.水、要求举例 根据选取的工艺设备不同、其对于动力品质的要求会有差别,对于研磨.切割用纯水.所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ.cm、此水质可以满足工艺生产要求，4，1，6，本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产,从节约能源方面考虑,主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式,其他辅助生产车间、如原辅材料库等,可以根据生产的要求配套.