4、工,艺4。1、一般规定4。1 4。4,1。5，根据对国内一些发光二极管生产工厂的生产环境要求、工艺动力品质，气体，水。要求的调研数据 通过汇总和比较。在附录A给出了主要工序生产环境要求举例 在附录B给出了工艺动力品质要求举例，在工艺设计时、业主或发包方未提出要求或暂时未提出要求时。可参照本规范附录A。附录B的要求确定。附录A对于空气洁净度等级只给出一定的范围供参考,比如对于烤盘.吹盘间、属于设备维护用房间，可以放到非净化区内,但由于本规范所调研厂家出于设备维护方便方面的考虑,将其放置在与MOCVD间相邻的房间内.因此对烤盘。吹盘间也采取了净化措施.与此类似的还有MOCVD辅助间,该房间用于放置尾气处理设备、气体纯化等辅助设备、这些设备本身不需要净化环境。只是从易于调试及使用方面考虑、多数发光二极管生产工厂将其放置在与MOCVD间相邻的房间内,也对该房间采取了净化措施。附录B给出了工艺动力品质.气 水.要求举例 根据选取的工艺设备不同。其对于动力品质的要求会有差别。对于研磨,切割用纯水。所调研发光二极管生产工厂采用的纯水的电阻率为4MΩ、cm，此水质可以满足工艺生产要求,4 1.6。本条主要考虑发光二极管生产工厂的生产多为大批量生产。从节约能源方面考虑.主要生产车间的生产设备宜采用连续运转的方式、其他辅助生产车间.如原辅材料库等 可以根据生产的要求配套.