9.4。防 排,烟9。4,3,薄膜晶体管液晶显示器厂房洁净室、区,具有大体量 大面积,人员密度小的特点 而其关键工艺设备均设有很完善的安全设施 且此类洁净厂房内各种公用动力、净化空调,工艺排气和废气管道、高纯物质供应设施等管线较多,布置复杂 使机械排烟管线的布置比较困难.为此作了本条规定。9,4、4.洁净室,区、的排烟系统与室外大气相通,且平时不运行。为了防止室外空气对洁净室。区。环境的影响。应设置防止室外气流倒灌的措施.排烟风机需要定期进行巡检。为了避免对洁净室,区,内空气的污染、影响正常的生产。一般在进入排烟风机前设计旁路系统用于平时巡检.9 4,5、洁净室、区 内的排烟风管,包括洁净送风静压箱 下技术夹层.回风夹道,墙,内的排烟风管.如直接采用产尘的保温材料,在施工过程中 保温材料的纤维会在空气中飞扬.难以清除,从而对洁净空气造成污染、影响室内洁净度等级,且降低了送风末端过滤器的使用寿命、

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