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- 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 GB 51136-2015
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 工 艺
- 5 厂址选择及总体规划
- 6 建 筑
- 7 结 构
- 7.1 一般规定
- 7.2 厂房结构设计
- 7.3 微振动控制标准
- 7.4 微振动控制设计及测试
- 7.5 基座平台设计
- 8 气体动力
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 10 给水排水
- 11 电 气
- 12 防 静 电
- 13 化 学 品
- 14 空间管理
- 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
- 附录B 微振动标准VC曲线
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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7。3 微振动控制标准7、3 1,有微振控制要求的工艺设备应由制造厂商提供设备台座处的振动评价方法 微振动控制标准及要求,7，3.2.有微振控制要求的工艺设备的支承面振动值应在相应微振动标准曲线以下 微振动标准曲线可按本规范附录B采用。7.3、3 曝光机 涂布机等工艺设备应满足生产厂商对设备支承部位的动态刚度标准值要求
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