14、空间管理14 1.一般规定14。1 1。空间管理设计应符合下列规定，1.工艺设备平面布置,运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、2 一般给水排水 纯水。工艺冷却循环水 废水处理 消防等设备外形尺寸,平面布置。运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.3,洁净.采暖，送风。排风 冷冻水等设备的外形尺寸。平面布置.运行.维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,4，冷,热源 大宗气体供应.压缩空气站，真空泵房、特种气体站房内设备的外形尺寸,平面布置,运行，维修 安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5,化学品供应及回收设备外形尺寸、平面布置.运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.6，电气设备，照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架 母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高、14.1.2 洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸 微环境装置及洁净气流控制等因素确定、阵列.彩膜。成盒区域不宜低于4m.模组区域不宜低于3m。14，1.3、下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度、管线布置.洁净气流控制等因素确定.不宜低于4m 14、1，4，上技术夹层净高应按照空调设备，管线布置 洁净气流控制等因素确定、不宜低于3m.