14 空间管理14,1.一般规定14,1 1。空间管理设计应符合下列规定,1,工艺设备平面布置.运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.2。一般给水排水.纯水,工艺冷却循环水,废水处理,消防等设备外形尺寸 平面布置 运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.3,洁净、采暖 送风、排风,冷冻水等设备的外形尺寸.平面布置,运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,4.冷、热源、大宗气体供应,压缩空气站。真空泵房 特种气体站房内设备的外形尺寸,平面布置 运行.维修。安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5。化学品供应及回收设备外形尺寸。平面布置、运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 6.电气设备.照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架,母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高 14,1、2、洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸,微环境装置及洁净气流控制等因素确定 阵列.彩膜。成盒区域不宜低于4m。模组区域不宜低于3m、14 1,3。下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度。管线布置 洁净气流控制等因素确定 不宜低于4m.14、1。4。上技术夹层净高应按照空调设备.管线布置。洁净气流控制等因素确定。不宜低于3m。
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