14 空间管理14.1.一般规定14,1,1,空间管理设计应符合下列规定.1 工艺设备平面布置 运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 2.一般给水排水、纯水,工艺冷却循环水,废水处理。消防等设备外形尺寸 平面布置,运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,3、洁净。采暖.送风、排风、冷冻水等设备的外形尺寸。平面布置。运行、维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高,4,冷,热源,大宗气体供应、压缩空气站、真空泵房,特种气体站房内设备的外形尺寸.平面布置 运行。维修,安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、5。化学品供应及回收设备外形尺寸 平面布置.运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高 6 电气设备。照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架 母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高 14,1,2。洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸、微环境装置及洁净气流控制等因素确定.阵列。彩膜、成盒区域不宜低于4m,模组区域不宜低于3m 14。1 3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度 管线布置,洁净气流控制等因素确定 不宜低于4m、14、1 4,上技术夹层净高应按照空调设备 管线布置,洁净气流控制等因素确定。不宜低于3m.
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