14、空间管理14。1，一般规定14 1 1 空间管理设计应符合下列规定 1.工艺设备平面布置,运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高，2.一般给水排水。纯水。工艺冷却循环水。废水处理.消防等设备外形尺寸,平面布置。运行,维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高，3、洁净.采暖、送风，排风，冷冻水等设备的外形尺寸，平面布置 运行 维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.4、冷 热源。大宗气体供应。压缩空气站、真空泵房，特种气体站房内设备的外形尺寸,平面布置,运行 维修，安装及主要配管应满足最小安全距离及占用标高.5、化学品供应及回收设备外形尺寸.平面布置、运行。维修及主要配管应满足最小安全距离及占用标高、6 电气设备、照明灯具等设备的平面布置和电缆桥架.母线槽等配管应满足最小安全距离及占用标高、14.1、2 洁净生产层净高应按工艺设备和物料运输设备尺寸，微环境装置及洁净气流控制等因素确定.阵列、彩膜。成盒区域不宜低于4m.模组区域不宜低于3m,14.1.3 下技术夹层净高应按照工艺辅助设备尺寸及其搬入高度 管线布置,洁净气流控制等因素确定，不宜低于4m,14。1，4.上技术夹层净高应按照空调设备 管线布置,洁净气流控制等因素确定.不宜低于3m。