10.3、纯.水10、3 1。纯水系统除应符合现行国家标准,电子工业洁净厂房设计规范,GB,50472和、电子工业纯水系统设计规范.GB 50685的有关规定外。尚应符合下列规定,1,纯水系统应包括纯水制备系统.纯水分配系统及纯水回收,处理系统。2 纯水系统除应满足所需水量 水质.水温和水压的要求外、还应满足运行灵活.安全可靠,便于操作管理 运行费用低的要求,3,纯水输水及分配系统的附加循环流量宜大于设计用水量的20,4 纯水系统的回收率应根据工程实际情况合理确定、10.3.2,纯水制备用原水。宜选用符合条件的再生水.

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