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- 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 GB 51136-2015
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 工 艺
- 5 厂址选择及总体规划
- 6 建 筑
- 7 结 构
- 7.1 一般规定
- 7.2 厂房结构设计
- 7.3 微振动控制标准
- 7.4 微振动控制设计及测试
- 7.5 基座平台设计
- 8 气体动力
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 10 给水排水
- 11 电 气
- 12 防 静 电
- 13 化 学 品
- 14 空间管理
- 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
- 附录B 微振动标准VC曲线
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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7,5、基座平台设计7，5、1。有微振控制要求的设备基座平台应根据工艺楼层的微振控制标准。设备的技术要求选择合适的结构方案，7.5,2 基座平台的钢筋混凝土部分厚度不宜小于200mm。7,5，3。基座平台的结构部分与周边的架空地板及其支承钢梁之间应设置伸缩缝，缝宽不宜大于10mm 7,5,4,基座平台的基本频率应避开其下支承结构的基本频率、