4、4,硅烷工艺系统4。4，1.硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定、1。硅烷站的规模，2。硅烷的物理化学性质,3，当地硅烷供应的充装 运输状况.4，用户对硅烷纯度,压力和负荷变化的要求,4,4。2,硅烷输送系统应设有硅烷容器，气体面板 阀门箱及连接管道 4、4，3 硅烷气体面板应包括减压过滤,吹扫，排气。安全控制的功能、4、4 4。硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫,4,4.5。硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4。2.6条的规定外。还应配置惰性气体吹扫装置，气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器 4,4,6。硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定、1、硅烷系统的排气管不得接入排风系统,2，排气管应采用惰性气体连续吹扫。吹扫气体流速不得小于0，3m，s,4。4,7、硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀、硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4 6m，4，4，8,硅烷系统阀门.附件的设置应符合下列规定，1。硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀,隔膜阀、调压阀，2 硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板 3、硅烷系统应配置过流开关，紧急切断阀,调压阀的加热装置应根据流量核算确定.