4，特种气体工艺系统4.1.一般规定4 1，1.4 1.2.特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所、一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员.厂房。设备的严重损失 如特种气体中的硅烷为自燃性。一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应 开始燃烧。砷烷为剧毒性.微量泄漏就可能导致人员的生命危险 因此、对系统设计的安全性要求十分严格 特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量 压力.温度等的工艺参数要求 为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器，电子秤,温控器等、对于大宗特种气体系统。不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳。汤普逊效应，部分特种气体减压后,温度会降低、甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏 因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后、可能有一段管路被外界气体污染。所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹、使其符合供应质量的要求.为此。特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上 大宗特种气体应采用集装格、卧式气瓶 长管拖车作为供气装置。并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱、阀门盘 辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等、以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数。污染控制、使用安全的要求.并按照行业标准，气瓶安全技术监察规程.TSG R0006，2014,6，7，1，4。瓶内气体不能用尽,压缩气体,溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0 05MPa,液化气体，低温液体气瓶要有不小于0.5。1，0。规定充装量的剩余气体、同时 鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上 而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时、剩余气体的杂质成分会慢慢析出。不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10，且液相不宜用干。4。1、3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统、为此。做了本条的规定，4，1、4 工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统,