4。特种气体工艺系统4，1、一般规定4、1，1 4 1,2，特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员 厂房、设备的严重损失，如特种气体中的硅烷为自燃性。一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应.开始燃烧。砷烷为剧毒性。微量泄漏就可能导致人员的生命危险.因此,对系统设计的安全性要求十分严格，特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量 压力 温度等的工艺参数要求，为此,在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器，电子秤 温控器等，对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳.汤普逊效应.部分特种气体减压后,温度会降低,甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热，在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求 例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹,使其符合供应质量的要求，为此、特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上.大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶.长管拖车作为供气装置 并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱.阀门盘 辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置等。以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求、为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数,污染控制。使用安全的要求,并按照行业标准.气瓶安全技术监察规程，TSG R0006,2014，6.7、1、4，瓶内气体不能用尽.压缩气体。溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0、05MPa.液化气体、低温液体气瓶要有不小于0,5，1。0,规定充装量的剩余气体。同时、鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上，而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性、使用到后期时 剩余气体的杂质成分会慢慢析出，不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10、且液相不宜用干、4。1，3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害,不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统,为此,做了本条的规定、4、1。4 工程实践表明 特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害。本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统、