10。2，主要设备。材料进场验收10,2、1。气瓶柜,气瓶架。阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定.1 外包装上应具有防止倾倒.轻放 防雨标识,防震标识，并应完整无损、2。表面应平整光洁。色泽一致、无毛刺.无划痕、无锈蚀 不起鼓。柜体顶部应设抽风口.柜门下方应设可调节空气过滤网进风口 3、面板上应有气体的名称、化学式。浓度，化学性质和危险标志的标识,并应有管线。阀体及附件相互连接的系统图。同时.应配有与其对应的操作手册，4.内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵.5、在运输过程中盘面内应保有不低于0，1MPa.表压.压力的氮气。6.阀门,仪表与面板之间应有专用阀门支撑件。支撑件材质应采用不锈钢,不得将阀门,仪表等直接用螺栓固定在面板上。10.2,2.尾气处理装置进场验收应符合下列规定,1 尾气处理装置进场应对外观,外形尺寸。构成.接口。铭牌,气密试验、阀门动作。信号传输等性能进行检查和核对,2.尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求、随机资料和专用工具应齐全、3。酸碱中和装置的洗涤塔、风机,泵.控制盘，酸、碱,储罐以及连接管路等应进行外观检查 随机资料应齐全、4,尾气处理装置，风机,泵的出厂合格证 性能测试报告 铭牌.标识应齐全、5.系统流程图。控制原理图,设备使用说明书应齐全、10,2，3,管道。管件和阀门进场验收应符合下列规定 1。在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损,变形,2，检查合格的管道,管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间、前室，去除外包装薄膜 搬入洁净室后，应按种类,规格分别存放在洁净室的货架上、不得直接放在地面上,洁净室的洁净度宜优于或等于7级，0.5μm。3,进场的管道,管件和阀门应有产品规格 型号，合格证，材质证明。使用说明书。检验报告，10.2。4.管道 管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查.并应符合下列规定、1.管道、管件.阀门应有独立的内包装。端口均应装有防尘帽，2 管道、管件。阀门检查后应恢复内包装及防尘帽 3 管道外观检查应按全数的5，以上抽查，规格尺寸,壁厚。圆度、端面子整度等应符合产品的技术要求、4,材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查、每批每种规格应随机抽查5,以上、且不得少于l件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求 5，管道.管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查 每批每种规格应随机抽查5。以上、且不得少于1件.有不合格时应加倍抽查、6、管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求、