4，3、吹扫和排气系统4。3 1，特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定。1.自燃性,易燃性.毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接.不得与公用气源或工艺气源系统相连.2,不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源。3.吹扫气体管线应设置止回阀、4,3，2。吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀.排气管。高低压截止阀。高低压压力指示装置.安全阀。4 3、3。特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定 1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源.2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给.自燃性和腐蚀性气体、氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀。4。3,4、特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定、1，特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置。2，自燃性.易燃性.毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理、处理后的气体应符合现行国家废气排放要求，4。3.5、特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定，1.尾气处理装置的类型。应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择.不相容特种气体应分别设置尾气处理装置。2,尾气处理装置应靠近特种气体柜。气瓶架等特种气体设备布置,3,特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附 湿式洗涤、加热分解 燃烧.等离子分解。稀释及以上几种处理方式的组合,