4，3，吹扫和排气系统4。3.1,特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定.1。自燃性 易燃性。毒性,腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接 不得与公用气源或工艺气源系统相连,2，不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源.3,吹扫气体管线应设置止回阀,4，3，2.吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀。排气管 高低压截止阀、高低压压力指示装置，安全阀,4、3，3、特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定.1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源.2，抽真空用氮气可由公用普通氮气供给,自燃性和腐蚀性气体、氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀、4、3 4、特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定,1、特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置。2、自燃性,易燃性 毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理，处理后的气体应符合现行国家废气排放要求 4 3。5 特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定。1,尾气处理装置的类型。应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择 不相容特种气体应分别设置尾气处理装置，2.尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置,3。特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附 湿式洗涤.加热分解 燃烧.等离子分解 稀释及以上几种处理方式的组合.