2 术语2.0.1 特种气体.specialty,gas，电子产品生产外延,化学气相沉积.刻蚀。掺杂等工艺中使用的自燃性.易燃性 剧毒性，毒性，腐蚀性.氧化性.惰性等特殊气体，2、0.2.自燃性气体.pyrophoric,gas，也称作发火气体，是指在空气中等于或低于54,时可能自燃的易燃气体.2。0，3，易燃性气体。flammable、gas.一种在20、和标准压力101 3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。2 0 4。剧毒性气体.highly。toxic.gas.半致死浓度,空气中吸入4h 小于或等于100mL，m3的气体 2。0.5、毒性气体,toxic.gas.半致死浓度。空气中吸入4h。大于100mL，m3但不超过2500mL m3的气体。2。0、6,腐蚀性气体、corrosive gas.对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体，2.0,7,氧化性气体.oxidizing。gas.一般通过提供氧气、比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。2,0。8 惰性气体 inert,gas.在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体 2。0。9.低蒸汽压力气体、low，vapor.pressure,gas。在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体，2。0.10、特种气体系统，specialty.gas.system.特种气体的储存,输送与分配过程的设备、管道和附件的总称。2。0、11.大宗硅烷系统，bulk,silane，system，是指包括ISO标准集装瓶组.长管拖车,钢瓶集装格。Y型卧式钢瓶.或总的水容积超过250L的硅烷系统 2、0，12.大宗特种气体系统、bulk,specialty。gas,system、一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体储存和送气系统，2 0.13,液态特种气体系统 liquid,specialty gas、system.是指以液态输送、分配。在用户终端进行汽化的特种气体系统 2。0。14.气体探测系统，gas、detector。system.GDS,设置在特种气瓶柜。气瓶架.阀门箱。阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖区域。通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏 从而发出声光报警信号，提供探测数据的系统 2。0、15、气体管理系统，gas，management,system,GMS、包含特种气体探测系统，应急处理系统,工作管理系统.监视系统.数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称,2，0.16 生产区，fabrication,area、电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发.测试的区域，有些生产过程将使用危险性生产材料、该区域为生产厂房的核心区域。2,0 17、特种气体间 specialty.gas room.电子生产厂房放置特种气瓶柜，气瓶架。卧式气瓶，气瓶集装格。尾气处理装置等气体设备、并通过管道向生产设备输送特种气体的房间 2、0。18 特种气体站、specialty。gas.station,电子工厂放置卧式气瓶。气瓶集装格。ISO标准集装瓶组、长管拖车，尾气处理装置等气体设备、并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建.构.筑物 2。0。19、特种气体站房.specialty.gas.station、and.room.是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称,2，0 20 硅烷站、silane。station,是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶 钢瓶集装格、卧式钢瓶.长管拖车或ISO标准集装瓶组,硅烷气化装置,尾气处理装置,电气装置等 并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建，构 筑物或区域、2 0 21,气瓶集装格。the。bundle of。gas、cylinders。用专用金属框架固定 采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元.2.0,22，1S,标准集装瓶组、ISO。module、采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块、2。0.23 气瓶柜.gas.cabinet GC 特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备.2、0,24，气瓶架，gas.rack GR、特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备 2，0。25、阀门箱.valve.manifold。box，VMB，特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2.0。26,阀门盘，valve、manifold,panel.VMP,特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2 0，27、尾气处理装置。local scrubber、自燃性 易燃性,剧毒性.腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处理装置。处理后的尾气达到规定排放浓度,并排入用气车间的排气管道。2.0。28。卧式气瓶 horizontal cylinder。用于储存较多特种气体的气瓶,一般水容积为450L,950L,2.0。29，限流孔板，restrict、flow，orifice，RFO。限定流体系统最大流量的一种装置。2 0.30，过流开关，excess flow switch.EFS，流体系统的流量超出设定值时、给出开关信号 2。0。31、负压气源。sub。atmospheric。gas.source SAGS,1型、在标准温度和压力下。钢瓶内和阀门出口均为负压的气源，2型,在标准温度和压力下。钢瓶内为正压,阀门出口为负压的气源，2。0。32 不相容性。incompatible。不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性 2，0。33，吹扫 purge。用氮气或惰性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换的过程。2，0，34.排气，vent。特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体、2 0、35 气体面板,gas。panel,集成切断阀门.调压阀，过滤器.压力计等零部件的专用设施 2.0，36,半致死浓度。lethal，concentration.50。LC50.在空气中使健康的成年大白鼠连续吸入1h.能引起受试白鼠在14d内死亡一半的气体的浓度、2 0，37，爆炸浓度下限值 low、explosion，limit，LEL.易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值.2，0、38 最高允许浓度值 threshold.limit。value、TLV。毒性气体在空气中的浓度小于该值时。充分且持续暴露于该环境中的作用人员的健康不会受到损害、2,0.39,最高允许浓度值。时间加权平均允许浓度，threshold、limit,value、time weighted、average、TLV,TWA 作业人员按每天8h 每周5d工作制工作，健康不会受到损害的毒性气体时间加权平均浓度