4.特种气体工艺系统4、1 一般规定4 1 1，4 1,2。特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员，厂房。设备的严重损失.如特种气体中的硅烷为自燃性 一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应、开始燃烧，砷烷为剧毒性、微量泄漏就可能导致人员的生命危险,因此 对系统设计的安全性要求十分严格,特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量.压力,温度等的工艺参数要求，为此。在气源一端一般要配置高精度的流量计、压力变送器.电子秤.温控器等,对于大宗特种气体系统。不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响.还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳、汤普逊效应，部分特种气体减压后,温度会降低。甚至液化,这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热.在管路吹扫,测试检验等每一个环节应采取措施,使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求、例如在更换钢瓶后.可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹,使其符合供应质量的要求,为此.特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上。大宗特种气体应采用集装格.卧式气瓶、长管拖车作为供气装置，并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱。阀门盘,辅助氮气吹扫系统,尾气处理装置等 以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求 为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数，污染控制.使用安全的要求。并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程。TSG，R0006 2014、6 7、1.4,瓶内气体不能用尽。压缩气体。溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0 05MPa.液化气体、低温液体气瓶要有不小于0.5,1。0，规定充装量的剩余气体,同时,鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高，5N以上.而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性，使用到后期时,剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高、所以按照经验设定剩余量为10,且液相不宜用干，4、1.3。为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此、做了本条的规定 4 1、4、工程实践表明、特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体、为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统.