4、特种气体工艺系统4,1、一般规定4,1，1,4,1 2.特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所.一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员 厂房，设备的严重损失、如特种气体中的硅烷为自燃性、一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此、对系统设计的安全性要求十分严格,特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量，压力,温度等的工艺参数要求.为此,在气源一端一般要配置高精度的流量计，压力变送器 电子秤.温控器等。对于大宗特种气体系统 不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响 还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳 汤普逊效应。部分特种气体减压后,温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏,因此需要考虑在减压前对气体进行预热、在管路吹扫。测试检验等每一个环节应采取措施、使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求，例如在更换钢瓶后。可能有一段管路被外界气体污染.所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求、为此,特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上、大宗特种气体应采用集装格。卧式气瓶.长管拖车作为供气装置.并应在生产工艺设备临近处设置特种气体的阀门箱 阀门盘.辅助氮气吹扫系统 尾气处理装置等,以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求,为满足电子产品工艺对特种气体工艺参数，污染控制.使用安全的要求，并按照行业标准、气瓶安全技术监察规程、TSG，R0006，2014 6,7、1.4.瓶内气体不能用尽。压缩气体，溶解乙炔气气瓶的剩余压力不小于0，05MPa,液化气体，低温液体气瓶要有不小于0。5.1，0 规定充装量的剩余气体、同时、鉴于半导体工艺对气体品质要求非常高 5N以上 而且气瓶里的气体由于气体固有特性和包装物的特性.使用到后期时、剩余气体的杂质成分会慢慢析出 不纯物浓度越来越高.所以按照经验设定剩余量为10,且液相不宜用干，4,1,3,为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害 不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统、为此.做了本条的规定,4.1，4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体.为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害.本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。