5.2、特种气体探测系统5，2。1，储存。输送.使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置。1,自燃性 易燃性,剧毒性.毒性,腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处。2.生产工艺设备的自燃性。易燃性。剧毒性。毒性.腐蚀性气体阀门箱的排风管口处。工艺设备的排风管口处。3、生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处 4,惰性气体间可能产生窒息的区域。5,自燃性,易燃性，剧毒性 毒性、腐蚀性气体设备间，6。其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性。剧毒性.毒性.腐蚀性气体的环境。5。2,2 易燃性,自燃性特种气体探测系统，有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警,5。2。3、自燃性,易燃性、剧毒性、毒性气体。氧气检测装置报警设定值应符合下列规定、1 自燃性，易燃性气体的一级报警设定值不应大于25、易燃性气体爆炸浓度下限值 二级报警设定值不应大于50 易燃性气体爆炸浓度下限值 2，剧毒性,毒性气体的一级报警设定值不应大于50，空气中有害物质的最高允许浓度值。时间加权平均容许浓度,TLV，TWA。二级报警设定值不应大于100.空气中有害物质的最高允许浓度值 时间加权平均容许浓度、TLV TWA、3,设在惰性气体间的氧气探测器,其一级报警设定值不应小于19 5,氧气体积浓度、V,V、二级报警设定值不应小于18.氧气体积浓度.V、V，4,二氧化碳气体系统宜设二氧化碳气体探测器。其报警设定值应为5000ppm、5.2,4，自燃性、易燃性 剧毒性，毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应符合下列规定.1 自燃性。易燃性气体检测报警采用扩散式应小于20s、吸入式应小于15s.2 剧毒性,毒性气体检测报警采用扩散式应小于40s、吸入式应小于20s.3，氧气检测报警采用扩散式应小于20s 吸入式应小于15s。5,2、5。当特种气体相对密度小于或等于0、75时 特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处.当特种气体相对密度大于0.75时。特种气体探测器应设置在释放源下方离地面0。3m。0.5m处.5，2 6，硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值、应小于或等于50ppm。并应与硅烷气源的自动切断阀联锁。硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm,环境气体探测器报警时 硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路，5 2，7,有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置、当无对应侦测器时。应根据其分解物选择侦测器,