5,3、其他安全设施5.3，1,为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全 本条规定了自燃性，易燃性.剧毒性。毒性。腐蚀性气体的储存，分配及使用场所安全设施的设置、1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机、门禁、摄像机.门禁应考虑与使用环境相适应 如有防爆，防腐蚀要求的场所,需使用相应防护的产品。2、本款是从实际情况看,安全管理显示屏一般安装在洁净室内.洁净室入口服务台处,气瓶柜间的入口等位置.其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施 以TCP.IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处之服务器。在洁净室入口服务台处及值班室的工作站 可键入日常信息、在安全显示屏上显示、为此做了本款规定 3 因为自燃性 易燃性。毒性气体一旦发生泄漏等安全事故、将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患,为此 本款规定在这些气体的储存、分配 使用场所内及相关建筑主入口 内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置、提醒人员注意。采取防范措施。4，为了在紧急情况下切断特种气体的供应.避免事故的蔓延与扩大.本款规定在自燃性。易燃性 毒性气体储存。分配,使用场所入口处应设紧急手动按钮.由于应急处理中心室有专人值班.规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室、5。3,2,为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害.对生产与作业人员带来危害、本条规定了在地震多发地区。特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置，5。3、3.国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍，一般设置三组地震探测装置，设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定、为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌 本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时，才立即执行联锁控制功能,并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统.对于实验室 工艺设备少的电子工厂.按需要设置地震探测装置。不做强制要求安装，5 3 5。从保护人员生命安全的角度考虑.本条规定了气体站房应配置防毒面具 自吸式防毒面具等安全防护设施。5。3，6.为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生、本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标,