5.5。半导体材料制备5。5，1 硅，锗材料制备的生产废水处理应符合下列要求.1 制备多晶硅的生产废水应中和处理后回用或达标排放，2，硅片加工过程产生的浆料应回收利用、3，制备氯化锗产生的蒸馏残液，水解母液以及废气淋洗液、应中和处理、4,单晶硅,单晶锗酸洗产生的酸性废气淋洗液应中和处理,5.产品检测产生的含铬废液必须单独收集或回用，不能返回工艺或作其他利用的含铬废液中的总铬及六价铬,必须达标后再送全厂污水处理站进一步处理 5.5.2 制备砷化镓产生的含砷废水 液.必须单独收集,且应首先回收砷.不能回收时应将三价砷转变为五价砷再进一步进行脱砷净化处理，