7，3.气，体7，3，1、空压站宜布置在综合动力站内,7，3,2,风冷式空气压缩机应设置热排风管道 7,3,3,管道内输送露点低于。40、的压缩空气时 宜采用内壁抛光的不锈钢管、阀门宜采用球阀,管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致、7 3。4 大宗气体供应系统宜根据用量及社会供应状况在工厂内设置外购液氮气储罐或瓶装气体供气、7 3,5，大宗气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度.容许杂质含量的要求选择,终端纯化装置应设置在用气点处，7、3、6 大宗气体纯度大于或等于99.99。露点低于 40、时。宜采用内壁抛光的不锈钢管.阀门宜采用波纹管阀或球阀.7。3,7、工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺实际用气量及系统损耗量确定，7，3,8。工艺真空泵宜布置在微波集成组件厂房内.7。3、9,工艺真空系统管道材料宜根据工艺真空系统真空度选用。