6,工艺设计要求6,1.般要求6 1、2,静电防护系统是厂房基本工艺条件配置,微波集成组件对于静电放电比其他工厂更为敏感 微小的静电放电电压都可能对组件中的ESD敏感器件造成损伤,当组件内管芯静电敏感等级为0级,静电敏感电压、250V。工作区的防静电等级要达到一级、虽然金属腔。薄膜,厚膜电路的清洗可不考虑静电防护,但为产品安全。清洗区要考虑静电防护。同样,金属腔,薄膜,厚膜电路的准备和齐套可不考虑静电防护,但为产品安全、物料准备区要考虑静电防护 6、1、5.生产车间的非洁净区一般无湿度的具体要求,温度一般要求是10 30。

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