3 空气洁净度等级3、0,1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定.1。洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3 0.1确定,表3 0.1,洁净室及洁净区空气洁净度整数等级注、按不同的测量方法。各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位,2。各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算.式中、Cn、大于或等于要求粒径的最大浓度限值,pc、m3 Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数.N、空气洁净度等级。数字不超过9.洁净度等级整数之间的中间数可以按0。1为最小允许递增量.D,要求的粒径、μm 0、1。常数 其量纲为μm,3 当工艺要求粒径不止一个时 相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1。5倍。4,空气洁净度等级的粒径范围应为0,1μm、0,5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明、3,0。2、空气洁净度等级所处状态包括空态,静态,动态.空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。3、0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行、3 0,4,当洁净室、区.内的产品生产工艺要求控制微生物 化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物。化学污染物浓度限值、

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