3,空气洁净度等级3、0,1,洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定.1,洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3。0,1确定、表3,0,1,洁净室及洁净区空气洁净度整数等级注、按不同的测量方法 各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位 2.各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算 式中 Cn,大于或等于要求粒径的最大浓度限值 pc.m3,Cn是四舍五入至相近的整数.有效位数不超过三位数,N 空气洁净度等级、数字不超过9、洁净度等级整数之间的中间数可以按0、1为最小允许递增量 D 要求的粒径 μm。0、1、常数。其量纲为μm 3,当工艺要求粒径不止一个时 相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1 5倍、4.空气洁净度等级的粒径范围应为0,1μm、0。5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明,3,0。2,空气洁净度等级所处状态包括空态,静态、动态、空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定、3,0,3、空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行,3,0,4 当洁净室.区,内的产品生产工艺要求控制微生物。化学污染物时 应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物。化学污染物浓度限值
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