6。3。气流流型和送风量6.3。1。气流流型的设计应符合下列规定，1。洁净室、区.的气流流型和送风量应符合表6,3,3的要求,空气洁净度等级要求严于4级时.应采用单向流.空气洁净度等级为4级，5级时，应采用单向流,空气洁净度等级为6级、9级时.应采用非单向流.2 洁净室工作区的气流分布应均匀.3,洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求、6、3。2。洁净室的送风量应取下列三项中的最大值、1。满足空气洁净度等级要求的送风量。2.根据热、湿负荷计算确定的送风量 3、按本规范第6,1、5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量 6.3,3。为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6。3.3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。表6，3，3、气流流型和送风量注，1。换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室。2.应根据室内人员.工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上.下限值，6、3,4、洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响.并应符合下列规定 1。单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台.2，需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧.3，有发热设备时。应采取措施减少热气流对气流分布的影响、4，余压阀宜布置在洁净气流的下风侧.