6、3，气流流型和送风量6，3 1.气流流型的设计应符合下列规定,1.洁净室,区 的气流流型和送风量应符合表6,3 3的要求，空气洁净度等级要求严于4级时。应采用单向流.空气洁净度等级为4级 5级时.应采用单向流。空气洁净度等级为6级、9级时、应采用非单向流。2.洁净室工作区的气流分布应均匀,3、洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求.6，3。2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值、1.满足空气洁净度等级要求的送风量,2,根据热.湿负荷计算确定的送风量 3.按本规范第6。1.5条的要求向洁净室内供给的新鲜空气量，6 3，3，为保证空气洁净度等级的送风量 应按表6,3、3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算,表6。3，3，气流流型和送风量注、1 换气次数适用于层高小于4。0m的洁净室。2.应根据室内人员,工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上,下限值、6.3、4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响.并应符合下列规定，1。单向流洁净室内不宜布置洁净工作台、非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台，2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧,3。有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响.4，余压阀宜布置在洁净气流的下风侧，