6.2,洁净室压差控制6、2.1,洁净室 区,与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差 6 2,2 不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。洁净区与室外的压差不应小于10Pa 6,2。3 洁净室维持不同的压差值所需的压差风量.根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。6.2.4 送风.回风和排风系统的启闭宜联锁 正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机。关闭时联锁程序应相反.负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反 6、2。5,非连续运行的洁净室、可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化空调处理,

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