6,2.洁净室压差控制6、2,1,洁净室。区.与周围的空间必须维持一定的压差 并应按工艺要求决定维持正压差或负压差 6,2 2.不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa、洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa。洁净区与室外的压差不应小于10Pa,6。2,3,洁净室维持不同的压差值所需的压差风量。根据洁净室特点、宜采用缝隙法或换气次数法确定,6,2,4,送风,回风和排风系统的启闭宜联锁.正压洁净室联锁程序应先启动送风机.再启动回风机和排风机.关闭时联锁程序应相反,负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。6,2,5。非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。

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