4、5.微振控制4,5 1。有微振控制要求的洁净厂房,设计应考虑建筑结构的选型及地面。楼面、的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚度.增加地面。楼面，刚度 能有效减小振动影响、此外，还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施,壁板与地面及顶棚采用柔性连接等，均能减小振动传递、即减小了对精密设备，仪器仪表的振动影响.在洁净厂房设计中,应首先考虑对强振源采取隔振措施 以减小强振源对精密设备,仪器仪表的振动影响,在此基础上、精密设备。仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致能够达到预定目的 在原规范中.本条为强制性条文。虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定、容易引起执行不准确的问题.实施以来确有此种情况发生。为此本次修订将本条改为推荐性条文 4，5。4。精密设备，仪器仪表的被动隔振措施.由隔振台座及隔振器.或隔振装置.组成、根据隔振设计计算需要.设定隔振台座为不变形刚体，为此应对隔振台座的形状。几何尺寸及材质选用等方面加以考虑、使之具有足够的刚度,某些精密设备.仪器仪表在运行时。由于移动部件位置变化或加工，测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相等。隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仪器仪表难以正常工作、为此.应设置校正倾斜装置,使隔振台座保持原有的水平度,以保证精密设备,仪器仪表的正常运行、隔振系统阻尼过小。会产生较大的自振。以及受外界突发干扰。如对隔振台座的冲击。室内气流的扰动影响等，造成隔振台座晃动 这种振动值有时会大于精密设备.仪器仪表的容许振动值、影响其正常运行 为此应增大隔振系统阻尼值 才能减小此类振动,通过多项工程实践表明。隔振系统阻尼比不小于0、15是比较恰当的,4，5。5.空气弹簧的垂直向.横向刚度很低.使隔振系统具有很低的固有振动频率.同时它具有可调节阻尼值的特性。隔振系统可获得需要的阻尼，因此，隔振系统具有良好的隔振效果 当配用高精度控制阀时,可自动校正隔振台座的倾斜，由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的优越性,已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备.仪器仪表的隔振元件,用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器 高精度控制阀。仪表箱及气源组成,由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排出气体，如压缩空气 氮气等。因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级.才能保证排出的气体不致对洁净室造成污染，