6。2。管材及附件6,2.1，气体系统管道材质及附件、应按设计要求选配 如设计未作明确要求,选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应.并应符合下列规定.1，应使用无缝管材，2，管材内表面吸附、解吸气体的作用小、3.管材内表面应光滑。耐磨损、4。应具有良好的抗腐蚀性能,5 管材金属组织在焊接处理时不应发生变化 6 负压管道不宜采用普通碳钢管。6.2,2.所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹,缩孔 夹渣.起瘤。折叠,重皮.锈斑 表面损伤等缺陷。管道应平直 圆滑,6.2.3。成品管外包装和相应管端头的管帽.堵头等密封措施应有效,无破损.6、2.4,氧气阀门必须采用专用产品、其密封圈应采用有色金属，聚四氟乙烯等材质,填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。6.2.5 采用铜材的高纯气体管路。可用不锈钢材质的附件，但在不锈钢材质的管路中、不应采用铜质的附件