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G,3、恒,压 法G、3,1 测试系统如图G。3,1所示、G 3、2 可按以下步骤进行检测,1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定 记录测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1.2.关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等,关闭回风管,或排风管。上的阀门 如果风管上无阀或阀不严,应在回风口,或排风口,上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3、开启送风。使室内压力上升至500Pa 停止送风,关闭送风阀门.通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气、通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量.以维持洁净室内的压力稳定不下降.每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数。此数即为漏气量、测试持续的时间宜不超过5min 取平均值,4、反之关闭送风阀。开启排风 当室内压力下降至,500Pa时关闭排风.开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量。此数即漏泄量 5。测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态、6,如果需要进行重复测试 20min后进行.7。当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G,3、3 检测报告应包括以下内容 1,检测条件、包括室内温度等.2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度、室内温度的动态变化,漏泄量的动态变化,3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率。所测洁净室围护结构严密性的评价.

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