G。3.恒,压、法G.3,1、测试系统如图G、3.1所示、G。3,2 可按以下步骤进行检测.1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定、记录测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1,2,关闭所测洁净室围护结构上的门.传递窗等、关闭回风管.或排风管,上的阀门.如果风管上无阀或阀不严 应在回风口、或排风口.上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3 开启送风,使室内压力上升至500Pa,停止送风。关闭送风阀门、通过围护结构上的孔洞和导管.由送风机或空气压缩机向室内补气 通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量,以维持洁净室内的压力稳定不下降。每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数、此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min、取平均值,4。反之关闭送风阀、开启排风 当室内压力下降至 500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力 记录真空泵抽气量,此数即漏泄量 5 测试结束后慢慢打开风阀 使房间压力恢复到正常状态、6,如果需要进行重复测试.20min后进行,7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵,G,3、3。检测报告应包括以下内容。1、检测条件.包括室内温度等、2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,室内温度的动态变化,漏泄量的动态变化 3、检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率.所测洁净室围护结构严密性的评价,

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