G,3,恒,压,法G、3。1、测试系统如图G,3、1所示、G。3,2,可按以下步骤进行检测,1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1.2,关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等、关闭回风管。或排风管、上的阀门.如果风管上无阀或阀不严,应在回风口、或排风口、上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3,开启送风.使室内压力上升至500Pa,停止送风 关闭送风阀门,通过围护结构上的孔洞和导管 由送风机或空气压缩机向室内补气.通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量,以维持洁净室内的压力稳定不下降、每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数,此数即为漏气量、测试持续的时间宜不超过5min。取平均值、4.反之关闭送风阀,开启排风,当室内压力下降至 500Pa时关闭排风 开启真空泵保持室内压力、记录真空泵抽气量,此数即漏泄量,5,测试结束后慢慢打开风阀 使房间压力恢复到正常状态,6、如果需要进行重复测试、20min后进行,7。当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G,3、3,检测报告应包括以下内容,1 检测条件,包括室内温度等,2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,室内温度的动态变化,漏泄量的动态变化。3 检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价。