11、5、工艺设备安装11，5。1，工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能、11 5、2，工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上,现场除正常照明外，应配备三相380V。单相220V和低压行灯电源,11 5,3 任何用于大设备的提升，牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前.应彻底清洁、并应检查有无脱屑 剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料.11。5.4，设备安装时应妥善保护墙壁与地面 设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨.开洞作业不应划伤或污染所在表面 设备安装位置穿越不同洁净级别区域时、穿越处缝隙应用柔性材料填充,密封,并应装饰处理.11。5 5，设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙,设备周围应留出足够的安装空间、隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11，5，6。除设计有明确要求外、设备的安装宜不作永久性固定 不采用地脚螺栓方式.宜安装成可移动性的半固定式 11 5。7 无脚轮的设备安装就位时.应有承重部位地面的保护措施 11，5.8,设备离墙距离应能满足维修和清扫要求。当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封、11 5.9 设备底面应抬离地面80mm。150mm 不能抬高这一距离时.应落地安装。与地面间的缝隙应密封 11 5,10,水池，水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封 11。5 11。设备配管配线所用各种管线原料和垫料，填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工。当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施、11 5 12、当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施 11。5,13、应在设备找正 调平后进行设备二次配管。配线.