11,5 工艺设备安装11，5，1 工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能、11。5,2.工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上,现场除正常照明外、应配备三相380V,单相220V和低压行灯电源.11.5。3、任何用于大设备的提升，牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前,应彻底清洁 并应检查有无脱屑。剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料，11，5，4,设备安装时应妥善保护墙壁与地面.设备的软胶轮应予包裹.避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面.设备安装位置穿越不同洁净级别区域时.穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封 并应装饰处理,11,5。5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙、设备周围应留出足够的安装空间,隔离区内应阻断正压送风、进入隔离区的人员应按进入洁净区要求,11。5.6 除设计有明确要求外、设备的安装宜不作永久性固定、不采用地脚螺栓方式，宜安装成可移动性的半固定式,11,5 7。无脚轮的设备安装就位时、应有承重部位地面的保护措施.11,5,8。设备离墙距离应能满足维修和清扫要求.当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封,11，5。9,设备底面应抬离地面80mm,150mm，不能抬高这一距离时,应落地安装。与地面间的缝隙应密封,11.5 10，水池，水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封，11.5、11 设备配管配线所用各种管线原料和垫料.填料等辅料应对产品和环境无不良影响、应避免在洁净环境中进行材料加工.当不可避免时.应采取防止粉尘扩散措施.11、5.12.当设备较高无法擦拭到顶部时。应采取可以清扫的措施。11、5。13 应在设备找正,调平后进行设备二次配管 配线.