6,2 管材及附件6,2。1.除了纯度与干燥度的控制外。洁净室的洁净度级别.是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据 气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求 就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求.关于管材选配原则,是这样考虑的、1,管材的透气性要小,1，对于不同材质的管道.其透气性能不同、如果管材本身透气性较大.而安装中不恰当地作了选用，那么.无论采取任何处理手段去除污染、都将无济于事、管材透气性见表1,防止大气中氧的渗透和腐蚀 不锈钢管和铜管最佳 对700mm长管路中水分的测定,见表2,2.气体中的水分主要来自管路系统。而管路系统中的水分。在很大程度上受周边环境湿度的影响,渗透对管路内的气质有很大破坏力。普通铜管内表面对杂质.尤其对水分的活性很高、因此 当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫,3。由于管道安装的环境可能在室外，即使在室内。环境空气也有一定的湿度，对铜管也有一定的影响。所以 使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长、一般为不锈钢管的8 20倍.否则难以达到应有的效果.4.不锈钢管材的活性比铜管差。所以对要求较高的高纯 洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材。对于在1。5级洁净室内。采用316L不锈钢管、对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5。对于6.9级管路系统,视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管,对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2、0Cr18Ni9.6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况 可采用铜管,压缩空气管道，干燥度在,20 与。40、时。采用不锈钢管304 0Cr18Ni9，2，管材内表面吸附，解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中.每吨可吸收大约200g的气体,所以。不锈钢材加工完毕.不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体.这样,当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体，尤其当管内气流为不连续流动时.这类材料的作用好比吸附剂.通过气流时、管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时 管材所吸附的气体又形成降压解析、而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中，同时。吸附.解析周而复始、使得管材内表面金属也会产生一定的粉末。这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体，3、保持管材内表面光滑.耐磨损，管材的这一特性至关重要、为了确保输送的气体的纯净度。不仅要求管材内表面有极高的光滑度.而且应当具有很高的耐磨特性.这样。既防止污染粒子及湿气在管壁滞留 管材本身在气流的高速冲刷、击 下.由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染。不锈钢管和铜管的不同见表3.2。为提高内表面的相对粗糙度,要在管材生产工艺中加以解决.如特殊拉拔，光亮退火 内面电抛光等、比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管.一般不能在现场加工。处理使用,4 具有良好的抗腐蚀性能.在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管、否则.管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑 严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体，这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管、5,在焊接处理时管材组织不发生变化。大流量的高纯，高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化 如果选用钢管.则低碳钢管材、316L.较为适宜,否则.含碳过高的材料在焊接时、受焊接热影响的部位可析出炭来，从而产生局部腐蚀应力 造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透.破坏输送气体的纯度。干燥度和洁净度、导致各项努力全部失去意义.6 2、2 洁净室内的管材有具使用的特殊性，从进货,验证、保存,下料.焊接、装配 试压。吹除.运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序.都是管道系统质量的技术保障措施.因此，条文规定比较详细 以下几点应特别注意、1,洁净管材十分珍贵 进货不能像普通管材那样随意码放,不仅要保持外观的清洁。包装纸完好,更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏,2.管端头的密封罩盖,甚至管外壁的包装纸都应完好无损,否则便成为施工单位的保管失职、3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA，管材及内面,电研磨抛光的EP.管材，加工工艺复杂 价格昂贵。市场、内壁光滑洁净管。效果良莠不齐、不仅与国外的水平差距较大，国内各厂家的产品效果也相差甚远。必须进行相应的粗糙度的检测 验证其可靠性与真实性、确保施工起点高，从源头消除隐患.确保洁净室内相应级别的管道施工质量,因此。随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符 是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序,系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效。目前、研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式、如果在机械加工后经电抛光.则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善 见表5，为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性.6.2,5、管路附件材质最低应与主管材质一致，在采用铜材的管路系统中、可以采用不锈钢材质的管路附件 而在采用不锈钢材质的管路系统中，不得采用低于主管材的铜材质的管路附件 而且,凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件,不锈钢管的耐磨性能优于铜管,在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316.304、不得采用铜管材，铜管内表而对杂质，尤其对水分的活性很高.因此.当使用这类管材时，切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫,清洗也比不锈钢材难度大。而且在微电子生产中,个别生产工艺，如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻，不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响，所以，使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8。20倍。