6，2.管材及附件6,2。1，除了纯度与干燥度的控制外、洁净室的洁净度级别,是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据、气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求.就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求.关于管材选配原则.是这样考虑的.1、管材的透气性要小.1 对于不同材质的管道、其透气性能不同.如果管材本身透气性较大、而安装中不恰当地作了选用。那么，无论采取任何处理手段去除污染。都将无济于事。管材透气性见表1.防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳.对700mm长管路中水分的测定,见表2,2、气体中的水分主要来自管路系统。而管路系统中的水分 在很大程度上受周边环境湿度的影响。渗透对管路内的气质有很大破坏力 普通铜管内表面对杂质、尤其对水分的活性很高,因此。当使用这类管材时，切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫，3、由于管道安装的环境可能在室外，即使在室内 环境空气也有一定的湿度.对铜管也有一定的影响、所以、使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8。20倍、否则难以达到应有的效果、4.不锈钢管材的活性比铜管差,所以对要求较高的高纯。洁净气体来说 不锈钢管是一种较为理想的管材 对于在1，5级洁净室内。采用316L不锈钢管,对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5.对于6。9级管路系统.视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管，对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9.6，对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况.可采用铜管 压缩空气管道、干燥度在。20.与、40,时,采用不锈钢管304 0Cr18Ni9.2.管材内表面吸附.解吸气体的作用要小 在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体.所以、不锈钢材加工完毕，不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体、这样 当管路中有气流通过时 金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中 污染纯净气体 尤其当管内气流为不连续流动时、这类材料的作用好比吸附剂,通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附 气流停止通过时、管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中、同时，吸附。解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体 3。保持管材内表面光滑.耐磨损.管材的这一特性至关重要。为了确保输送的气体的纯净度、不仅要求管材内表面有极高的光滑度 而且应当具有很高的耐磨特性。这样,既防止污染粒子及湿气在管壁滞留。管材本身在气流的高速冲刷、击、下,由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染，不锈钢管和铜管的不同见表3,2，为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决、如特殊拉拔，光亮退火、内面电抛光等 比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管,一般不能在现场加工。处理使用 4，具有良好的抗腐蚀性能.在生产工艺中,使用腐蚀性较强的气体时。必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑.严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔，从而污染输配的纯净气体，这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5 在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯 高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接、因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化 如果选用钢管.则低碳钢管材 316L，较为适宜。否则。含碳过高的材料在焊接时、受焊接热影响的部位可析出炭来 从而产生局部腐蚀应力.造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透.破坏输送气体的纯度，干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义。6。2.2，洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货 验证.保存、下料 焊接,装配，试压。吹除.运行等工序都有着严格的要求。所有这些内容与程序.都是管道系统质量的技术保障措施。因此。条文规定比较详细、以下几点应特别注意、1.洁净管材十分珍贵、进货不能像普通管材那样随意码放、不仅要保持外观的清洁。包装纸完好 更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏 2.管端头的密封罩盖.甚至管外壁的包装纸都应完好无损.否则便成为施工单位的保管失职，3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA,管材及内面.电研磨抛光的EP。管材。加工工艺复杂.价格昂贵，市场.内壁光滑洁净管 效果良莠不齐.不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测.验证其可靠性与真实性.确保施工起点高,从源头消除隐患.确保洁净室内相应级别的管道施工质量,因此,随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符、是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序。系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效、目前。研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式 如果在机械加工后经电抛光.则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善、见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性。6 2。5，管路附件材质最低应与主管材质一致 在采用铜材的管路系统中.可以采用不锈钢材质的管路附件。而在采用不锈钢材质的管路系统中,不得采用低于主管材的铜材质的管路附件,而且，凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件、不锈钢管的耐磨性能优于铜管。在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少 对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L,316.304、不得采用铜管材、铜管内表而对杂质，尤其对水分的活性很高.因此。当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫、清洗也比不锈钢材难度大,而且在微电子生产中,个别生产工艺,如砷化镓的操作。为了防止产生器件电阻。不允许使用铜质管路及其附件、由于管道安装的环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响 所以、使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8.20倍