6。2 管材及附件6 2,1、除了纯度与干燥度的控制外 洁净室的洁净度级别.是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据 气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求，关于管材选配原则、是这样考虑的，1。管材的透气性要小.1、对于不同材质的管道、其透气性能不同、如果管材本身透气性较大。而安装中不恰当地作了选用 那么,无论采取任何处理手段去除污染。都将无济于事.管材透气性见表1，防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳，对700mm长管路中水分的测定。见表2,2,气体中的水分主要来自管路系统 而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响.渗透对管路内的气质有很大破坏力。普通铜管内表面对杂质.尤其对水分的活性很高。因此，当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫,3，由于管道安装的环境可能在室外.即使在室内 环境空气也有一定的湿度.对铜管也有一定的影响，所以、使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8，20倍。否则难以达到应有的效果、4、不锈钢管材的活性比铜管差。所以对要求较高的高纯，洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材，对于在1.5级洁净室内.采用316L不锈钢管，对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5.对于6.9级管路系统、视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管，对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2 0Cr18Ni9 6 对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况，可采用铜管 压缩空气管道 干燥度在,20。与，40、时 采用不锈钢管304。0Cr18Ni9。2.管材内表面吸附,解吸气体的作用要小、在不锈钢熔炼制材过程中.每吨可吸收大约200g的气体.所以、不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体,这样 当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中。污染纯净气体。尤其当管内气流为不连续流动时.这类材料的作用好比吸附剂、通过气流时,管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成降压解析、而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中 同时，吸附.解析周而复始.使得管材内表面金属也会产生一定的粉末、这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体,3,保持管材内表面光滑.耐磨损,管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有极高的光滑度.而且应当具有很高的耐磨特性.这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留,管材本身在气流的高速冲刷 击，下、由于磨阻损耗低。也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染 不锈钢管和铜管的不同见表3 2,为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔、光亮退火。内面电抛光等.比起在施工过程中加以处理要有效和可靠，因此要使用成品专用管。一般不能在现场加工。处理使用,4。具有良好的抗腐蚀性能,在生产工艺中，使用腐蚀性较强的气体时 必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则.管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑 严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔.从而污染输配的纯净气体，这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5、在焊接处理时管材组织不发生变化 大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接。原则上全部采用焊接.因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化.如果选用钢管,则低碳钢管材.316L，较为适宜。否则。含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来、从而产生局部腐蚀应力 造成焊接部位的透气。使得管内外气体的相互渗透 破坏输送气体的纯度.干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义 6，2,2 洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货。验证。保存，下料，焊接,装配 试压 吹除 运行等工序都有着严格的要求、所有这些内容与程序、都是管道系统质量的技术保障措施、因此。条文规定比较详细。以下几点应特别注意 1、洁净管材十分珍贵。进货不能像普通管材那样随意码放.不仅要保持外观的清洁.包装纸完好、更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏,2 管端头的密封罩盖 甚至管外壁的包装纸都应完好无损，否则便成为施工单位的保管失职，3、由于特殊拉拔工艺生产的内表面,光亮退火BA 管材及内面 电研磨抛光的EP.管材 加工工艺复杂,价格昂贵 市场 内壁光滑洁净管，效果良莠不齐 不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远。必须进行相应的粗糙度的检测 验证其可靠性与真实性.确保施工起点高，从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量，因此、随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符,是否与出厂参数相符、是洁净管道施工的一项重要的程序,系统内表面加以处理 对减少管材自身可能造成的污染十分有效 目前、研磨。电抛光是管材内表面处理的最佳方式 如果在机械加工后经电抛光，则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善 见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性，6，2,5 管路附件材质最低应与主管材质一致，在采用铜材的管路系统中、可以采用不锈钢材质的管路附件 而在采用不锈钢材质的管路系统中 不得采用低于主管材的铜材质的管路附件,而且、凡是与应用气体接触的管路系统、均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管，在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316,304，不得采用铜管材.铜管内表而对杂质,尤其对水分的活性很高.因此.当使用这类管材时，切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫，清洗也比不锈钢材难度大、而且在微电子生产中、个别生产工艺。如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻。不允许使用铜质管路及其附件，由于管道安装的环境空气也有一定的湿度 对铜管也有一定的影响.所以 使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8.20倍,