E。4.微粒计数浓度的检测E，4.1。室内检测人员应控制在最低数量 不宜超过2人 面积超过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数。人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点,动作要轻、保持静止，E。4 2。0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求.1.当采用光学粒子计数器。OPC，测定0、1μm至5m的微粒计数浓度时。应按本规范第16 4 5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别，粒子计数器粒径分辨率应小于等于10.粒径设定值的浓度允许误差应为、20。并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法 GB，T6167的规定 2。测点数可按式.E。4 2，1 求出。3、每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室.应适当增加采样点、并得到用户，建设方，同意并记录在案.4 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度，取距地0,8m,或根据工艺协商确定，当工作区分布于不同高度时、可以有1个以上测定面，乱流洁净室。区.内采样点不得布置在送风口正下方.5 如建设方要求增加采样点。应对其数目和位置协商确定,6 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量、最小采样量根据、非零检测原则,由下式求出，7，每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值，8 当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时.可增加测点数,9、测单向流时 采样头应对准气流.测非单向流时.采样头一律向上、10,当要求0，1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降 碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时、水平采样管长度也应符合附录D,3，6条的规定 11 若采样口流速与室内气流速度不相等,其比例应在0 3。1、7，1之间.12.当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净 造成单个非随机的异常值.并影响计算结果时、允许将该异常值删除.但在原始记录中应注明,每一测定空间只许删除一次测定值 并且保留的测定值不少于3个.13.对于需要很大采样量，耗时很大的某粒径微粒的检测 可采用顺序采样法,即将每次测定结果标注于图E。4.2上,当标注点落入不合格区时、即停止检测.结果为不达标，当标注点落入合格区时。停止检测 结果为达标，当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E,4.2，2的最小采样量。累计微粒数仍小于20，即停止检测，结果为达标,当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量未达到最小采样量。但累计微粒数已超过20。即停止检测.结果为不达标,E、4、3,对小于0 1μm的超微粒的检测，应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用，可采用凝结核计数器,CNC或CPC，加静电式分级器,迁移率分析仪。DMA。凝结核计数器，CNC或CPC.加扩散式分级器，DB,等,但必须有明确的性能说明书.或有自检报告。对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50。采样点数目应与E.4。2条对0、1μm、5μm的要求相同 E，4，4.大于5μm的大.宏，微粒的检测应符合下列要求，1。用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定.1，粒子计数器应经过大微粒的标定。符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法，GB.T、6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定、应采用不小于28 3L,min的计数器。对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2、83L。min的计数器 2、当用28,3L。min计数器时,水平管不应长过0.5m,当用2,83L,min计数器时 原则上不宜有水平管 3,采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速，2,用过滤器采集 显微镜检测时，应遵守下列规定 1、过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时、真空泵采样流量不小于7L min，当过滤器采样口直径为47mm时.采样流量不小于28、3L，min、对于非单向流洁净室。总采样量不小于28，3L.min。对于单向流洁净室.总采放量不小于280L min、取下滤膜，将滤膜放在清洁的盖玻片上、图E，4。4，采样面向上、放进有50。左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮。当做过3次样片时 再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出，再将盖玻片反向固定在载物片上，用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开 熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住、2，计数时应把制好的标本片固定在显微镜,100倍.工作台的适合位置上、一张标本片上计数总面积不小于0.02,4mm2，在检测中应不断调整，3.测定之前.必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出、